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发明名称
摘要
申请公布号	JP2983855(B2)	申请公布日期	1999.11.29
申请号	JP19940267608	申请日期	1994.10.31
申请人	SANYO DENKI KK	发明人	MITSUSAKA EIICHI
分类号	G01B11/02;G01B15/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B15/00	主分类号	G01B11/02
代理机构		代理人
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