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发明名称
摘要
申请公布号	JP2985463(B2)	申请公布日期	1999.11.29
申请号	JP19920004617	申请日期	1992.01.14
申请人	FUJITSU KK	发明人	KOBAYASHI TOORU
分类号	C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C23C16/44
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