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发明名称 INSPECTION JIG
摘要
申请公布号 JPH11326371(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980133645 申请日期 1998.05.15
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 OKANO TATSUHIRO
分类号 G01R1/073;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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