发明名称 |
CARBON VAPOR DEPOSITION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11323534(A) |
申请公布日期 |
1999.11.26 |
申请号 |
JP19980132092 |
申请日期 |
1998.05.14 |
申请人 |
SANYUU DENSHI KK |
发明人 |
GOTO KATSUTO;SAWARA KATSUJI;SHIMATANI TAKASHI |
分类号 |
H05B7/18;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
H05B7/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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