发明名称 CARBON VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11323534(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980132092 申请日期 1998.05.14
申请人 SANYUU DENSHI KK 发明人 GOTO KATSUTO;SAWARA KATSUJI;SHIMATANI TAKASHI
分类号 H05B7/18;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 H05B7/18
代理机构 代理人
主权项
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