| 发明名称 |
SILICA-BASED MEMBRANE-FORMING LIQUID FOR APPLICATION, HAVING LOW DIELECTRIC CONSTANT AND PREFORM ATTACHED WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT MEMBRANE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11323259(A) |
申请公布日期 |
1999.11.26 |
| 申请号 |
JP19980139723 |
申请日期 |
1998.05.21 |
| 申请人 |
CATALYSTS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
NAKAJIMA AKIRA;KOMATSU MICHIO |
| 分类号 |
C01B33/12;C09D5/25;C09D7/12;C09D201/00;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):C09D201/00 |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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