发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11323559(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980135199 申请日期 1998.05.18
申请人 JAPAN AVIATION ELECTRONICS IND LTD 发明人 TAKAHASHI MASAYA
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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