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发明名称 AIR LOCK DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11323553(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19990041740 申请日期 1999.02.19
申请人 LEYBOLD SYST GMBH 发明人 BAUMECKER TOMAS;GRIMM HELMUT;HENRICH JUERGEN;MICHAEL KLAUS;ROEDLING GERT;ULRICH JUERGEN
分类号 B05B13/02;B01J3/02;B65G47/84;B65G49/00;C03C17/00;C23C14/56;C23C16/54;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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