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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11323545(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980134096 申请日期 1998.05.15
申请人 NEC CORP 发明人 ABE KENICHIRO
分类号 C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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