| 发明名称 |
SERVO ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE VACUUM SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11326093(A) |
申请公布日期 |
1999.11.26 |
| 申请号 |
JP19980150748 |
申请日期 |
1998.05.14 |
| 申请人 |
ANELVA CORP;ESASHI MASAKI |
发明人 |
MIYASHITA HARUZO;YOSHIMURA AKIKO;ESASHI MASAKI |
| 分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;G01L23/12;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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