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发明名称 HUMIDITY CONTROLLING METHOD IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH11323579(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980135756 申请日期 1998.05.18
申请人 TOSHIBA CORP;JAPAN ORGANO CO LTD 发明人 SHIMAZAKI AYAKO;TAMAOKI MAKIKO;YANAGI SACHIKO;HORIIKE MAKOTO;SHIBATA YOSHIAKI
分类号 F24F6/18;C23F11/02;C23F11/14;(IPC1-7):C23F11/14 主分类号 F24F6/18
代理机构 代理人
主权项
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