发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DEGREE OF VACUUM
摘要
申请公布号 JPH11326103(A) 申请公布日期 1999.11.26
申请号 JP19980133897 申请日期 1998.05.15
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 G01L21/02;(IPC1-7):G01L21/02 主分类号 G01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址