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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR DEGREE OF VACUUM
摘要
申请公布号
JPH11326103(A)
申请公布日期
1999.11.26
申请号
JP19980133897
申请日期
1998.05.15
申请人
CANON INC
发明人
SUZUKI NOBUMASA
分类号
G01L21/02;(IPC1-7):G01L21/02
主分类号
G01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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