| 摘要 |
<p>위치결정된 반도체 펠릿의 위치 어긋남이 방지된다. 반도체 펠릿(10)의 위치결정시에는, 위치결정 클릭(16)에 의해 반도체 펠릿(10)을 움직이게할 수 있는 약한 흡인력으로 위치결정 스테이지(15)에 흡착 유지하고, 위치결정 종료후에 상기 약한 흡인력보다 강한 흡인력으로 반도체 펠릿(10)을 위치결정 스테이지(15)에 흡착유지시키는 흡인 전환용 전자 밸브(20), 흡인력 조정용 전자밸브(31), 진공원(21), 압축공기원(22), 스로틀밸브(32) 등을 갖는다.</p> |
