| 摘要 |
본 발명은 이온 주입기용 이온 소오스(50)에 관한 것으로: (i) 승화해야할 소오스재료(68)를 수용하여 이 소오스재료를 승화하는 중공(66)을 지닌 승화기와; (ii) 이 승화기로부터 떨어져 위치하여 있으며, 승화된 소오스재료를 이온화하는 이온화실(58)과; (iii) 상기 승화기(52)를 이온화실(58)에 연결하는 공급튜브와; (iv) 승화기(52)와 공급튜브의 부분을 가열하는 가열매체(70)를 구비한다. 제어기구는 이 가열매체(70)의 온도를 제어하기위해 마련되어 있다. 제어기구는 가열매체(70)를 가열하는 가열부품(80), 가열매체를 순환하는 펌프(55), 가열매체(70)로부터 온도 피드백을 제공하는 하나 이상의 열전쌍(92)과 상기 온도 피드백에 응답하여 제1제어신호(94)를 가열부품에 출력하는 제어기(56)를 지닌다. |
