| 摘要 |
<p>본 발명은 매트릭스 어레이기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 어레이기판은 유리기판(1) 상에 주사선(26), 신호선(33), 제 1 게이트 절연막(28), 제 2 게이트 절연막(29), 반도체 피막(41), 채널보호 피막(42), 저저항 반도체 피막(44) 및 Mo/Al/Mo의 적층막(47)을 형성한 후, 동일한 마스크 패턴을 이용한 패터닝에 의해 소스전극(48), 드레인전극(9), 신호선(33), 반도체막(39), 저저항 반도체막(40)을 일괄하여 형성하고, 또 소스전극(48), 드레인전극(49), 반도체막(39), 주사선 패드(30) 및 신호선 패드(34)의 상면을 화소전극(35)으로 덮으며, 또 소스전극(48), 저저항 반도체막(40) 및 반도체막(39)의 윤곽선을 대략 일치시키고, 드레인전극(49), 저저항 반도체막(40) 및 반도체막(39)의 윤곽선을 대략 일치시킴으로써, 제조시에 필요한 마스크수를 줄여 제조공정을 간략화하고, 제조 생산성을 향상시킨 매트릭스 어레이기판을 제공하는 것을 특징으로 한다.</p> |
