发明名称 SHORT PULSE LASER SYSTEM
摘要 <p>근회절 제한 빔특성을 가지는 펄스당 수 밀리-줄(mJ/p) 까지의 에너지 레벨로 5 나노초 이하의 짧은 지속시간을 가지는 펄스를 생성하는 레이저 시스템. 레이저 크리스탈은 다이오드 레이저에 의해서 여기되며, 적어도 두 개의 거울면을 가지는 공진기가 레이저 크리스탈을 통과하는 빔경로를 형성한다. 공진기내의 빔경로는 각 여기 주기의 말기 부근의 짧은 주기 동안만을 제외하고, 레이저 크리스탈 내에 여기 에너지가 발생하게 하는 제1 광학셔터에 의해서 주기적으로 차단된다. 제1 광학셔터가 개방되어 있는 동안에, 제2 광학셔터가 주기적인 짧은 간격 동안만을 제외하고 공진기내의 빛을 차단한다. 상기 간격은 상기 공진기 내에서 빛의 속도로 이동하는 적어도 하나의 광펄스가 상기 공진기를 통하여 여러번 통과함으로서 매회 통과시마다 여기된 레이저 크리스탈로 부터 에너지를 추출함으로써 강도를 증가시키는 간격으로 이루어져 있다. 광펄스가 강하게 형성된후, 광학 릴리스 메커니즘은 공진기로 부터 펄스를 릴리스한다.</p>
申请公布号 KR19990082945(A) 申请公布日期 1999.11.25
申请号 KR19990011833 申请日期 1999.04.06
申请人 제이엠에이알 테크놀로지 컴페니 发明人 헤리리거;헨리실즈;리챠드포스터
分类号 H01S3/098;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/0941;H01S3/102;H01S3/11;H01S3/117;H01S3/127;H01S3/23 主分类号 H01S3/098
代理机构 代理人
主权项
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