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发明名称 System zum Erkennen von Kennzeichen in einem Halbleitererzeugungsbetrieb
摘要
申请公布号 DE69325840(T2) 申请公布日期 1999.11.25
申请号 DE19936025840T 申请日期 1993.03.26
申请人 SHINKO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 YAMASHITA, TEPPEI;MURATA, MASANAO;TANAKA, TSUYOSHI;MORITA, TERUYA;KAWANO, HITOSHI;OKUNO, ATSUSHI;TSUDA, MASANORI;HAYASHI, MITSUHIRO
分类号 G06K17/00;G06K19/10;H01L21/02;(IPC1-7):G06K17/00 主分类号 G06K17/00
代理机构 代理人
主权项
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