| 发明名称 |
BATCH METHOD FOR MEASURING GAS PHASE ADSORPTION AMOUNT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11326298(A) |
申请公布日期 |
1999.11.26 |
| 申请号 |
JP19980136882 |
申请日期 |
1998.05.19 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SATO KATSUAKI;ARIKAWA AKIHIRO;FUTAMI KENICHI |
| 分类号 |
G01N15/08;G01N30/00;(IPC1-7):G01N30/00 |
主分类号 |
G01N15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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