| 摘要 |
<p>고체촬상장치는 반도체기판의 촬상영역내에 배열된 복수의 광전변환소자를 포함한다. 각 광전변환소자 위에는, 광전변환소자에 광을 집광하기 위한 집광용 마이크로렌즈가 배치된다. 또한, 촬상영역외부에는, 집광용 마이크로렌즈와 동일한 형태를 갖는 형태검사용 마이크로렌즈가 배치된다. 형태검사용 마이크로렌즈 아래에는, 검사용 기초패턴이 배치된다. 형태검사용 마이크로렌즈에 비치는 기초패턴의 상을 관찰함으로써, 형태검사용 마이크로렌즈의 형태를 검사한다. 이 검사 결과는 집광용 마이크로렌즈에도 똑같이 적용된다.</p> |
