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<p>스핀 터널 자기 저항 효과(TMR)을 이용하는 자기 센서에서, 터널 절연막, 터널 절연막의 1개의 면 상에 형성된 제1 자성층, 터널 절연막의 다른 면에 형성된 제2 자성층, 제2 자성층의 자화를 고정하기 위한 반강자성체를 포함한 제3 자성층, 적어도 제1 및 제3 자성층중 하나 위에 형성된 소정의 영역에서 개구를 가진 제2 절연막, 제2 절연막의 개구에서만 제1 및 제3 자성층중 하나와 전기적으로 접속된 제1 전극과, 적어도 제1 및 제2 자성층과 제1 절연층을 개재한 제1 전극과의 사이에 전류를 흘리기 위한 제2 전극을 가진다.</p> |
