Verfahren zum Trockenätzen und Vakuumbehandlungsreaktor

摘要

Ein Trockenätzverfahren ist insbesondere auf die Entfernung von Ablagerungen von PECVD-Reaktoren anwendbar. Ein Reaktivätzgas wird dem evakuierten Reaktor zugeführt und das Gas, das die Reaktionsprodukte des Ätzverfahrens enthält, wird aus dem Reaktor entfernt. Nach einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung wird die Zufuhr von Reaktivätzgas nach einer bestimmten Zeitspanne während der Reaktion reduziert, um die Menge an unreagiertem Gas, das an die Umgebung oder an einen abgasseitigen Naßabscheider abgegeben wird, zu reduzieren. Der Fluß der Reaktionsprodukte im Auslaß kann überwacht werden, um eine automatische Steuerung der Zufuhr des Ätzgases als eine Funktion der Reaktionsrate zu ermöglichen. Unter einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung kann SF¶4¶ als Ätzgas verwendet werden. Es wurde gefunden, daß es zumindest so effektiv wie SF¶6¶ bei der Entfernung von siliziumbasierten Ablagerungen ist und daß es aufgrund seiner geringeren Stabilität sich nicht als Verunreinigung in der Umgebung aufhält.