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发明名称 METHOD OF PROVIDING VLSI-QUALITY CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0650641(B1) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 EP19930909989 申请日期 1993.05.13
申请人 AUGUSTO, CARLOS JORGE RAMIRO PROENCA 发明人 AUGUSTO, CARLOS JORGE RAMIRO PROENCA
分类号 G02F1/1333;G02F1/125;G02F1/136;G02F1/1362;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/00;H01L27/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/00 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
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