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发明名称 METHOD FOR DEPOSITION OF DIAMONDLIKE CARBON FILMS
摘要
申请公布号 EP0797688(B1) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 EP19960934131 申请日期 1996.10.09
申请人 HUGHES ELECTRONICS CORPORATION 发明人 WEI, RONGHUA R.;MATOSSIAN, JESSE N.
分类号 H05H1/46;C01B31/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/503;C30B29/04;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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