发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A TRANSISTOR WITH SELF-ALIGNED CONTACTS AND FIELD INSULATION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0958602(A1) |
申请公布日期 |
1999.11.24 |
申请号 |
EP19970930599 |
申请日期 |
1997.06.26 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELEONIBUS, SIMON |
分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/285 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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