发明名称 Making a MOS transistor having gate double sidewall spacers, e.g. for a DRAM
摘要
申请公布号 GB2337634(A) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 GB19990009490 申请日期 1999.04.23
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 WON-SUK * YANG;KI-NAM * KIM;CHANG-HYUN * CHO
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/092;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/823;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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