发明名称 SCREENING OXIDE FOR SOURCE AND DRAIN REGIONS FORMED FROM SOLID DOPANT SOURCE
摘要
申请公布号 EP0958596(A1) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 EP19970933371 申请日期 1997.07.10
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 ANDIDEH, EBRAHIM
分类号 H01L21/28;H01L21/225;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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