| 发明名称 |
GRINDING WHEEL FOR POLISHING SUBSTRATE AND POLISHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11320424(A) |
申请公布日期 |
1999.11.24 |
| 申请号 |
JP19980136531 |
申请日期 |
1998.05.19 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
HIROKAWA KAZUTO;HIYAMA HIROKUNI;WADA TAKETAKA;MATSUO NAONORI |
| 分类号 |
B24D7/06;B24D7/14;B24D7/18;(IPC1-7):B24D7/06 |
主分类号 |
B24D7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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