| 发明名称 |
DEVICE FOR THE PRODUCTION OF PLASMAS BY MICROWAVES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0872164(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.24 |
| 申请号 |
EP19960944062 |
申请日期 |
1996.12.23 |
| 申请人 |
SPITZL, RALF |
发明人 |
ASCHERMANN, BENEDIKT;SPITZL, RALF |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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