| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA DEPOSITION OF A THIN FILM ONTO THE INTERIOR SURFACE OF A CONTAINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0958400(A1) |
申请公布日期 |
1999.11.24 |
| 申请号 |
EP19970943538 |
申请日期 |
1997.10.02 |
| 申请人 |
NANO SCALE SURFACE SYSTEMS, INC. |
发明人 |
FELTS, JOHN T. |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/40;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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