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发明名称 Spindle assembly and cutting apparatus.
摘要
申请公布号 GB2337474(A) 申请公布日期 1999.11.24
申请号 GB19990010091 申请日期 1999.04.30
申请人 * DISCO CORPORATION 发明人 EIJI * KADOSAWA
分类号 B28D5/02;B23Q11/10;B23Q11/12;B24B41/04;B24B55/02;H01L21/301;(IPC1-7):B23B19/02 主分类号 B28D5/02
代理机构 代理人
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