CAPTEUR DE GRANDEUR DYNAMIQUE A SEMICONDUCTEUR AYANT DES ELECTRODES A STRUCTURE DE RAHMEN

摘要

Un accéléromètre à semiconducteur (11) est formé par micro-usinage sur un substrat SOI. Une unité mobile (12) comporte une partie de masse (15) et une électrode mobile (16) ayant une forme en peigne. Une paire d'électrodes fixes (17, 18) sont interdigitées avec l'électrode mobile. Un ensemble de trous traversants (31) sont formés dans les électrodes de façon que celles-ci aient une structure de Rahmen consistant en une série de cadres rectangulaires. Cette structure réduit la masse de chaque électrode et augmente sa résistance à une force de torsion et à une accélération orientée perpendiculairement à la direction de détection.