VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DÜNNSCHICHTBILDUNG, ANLAGE, ELEKTROMAGNETISCHES GERÄT, AUFZEICHNUNGS/WIEDERGABEVORRICHTUNG UND SIGNALPROZESSOR,申请号DE1990633045T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DÜNNSCHICHTBILDUNG, ANLAGE, ELEKTROMAGNETISCHES GERÄT, AUFZEICHNUNGS/WIEDERGABEVORRICHTUNG UND SIGNALPROZESSOR
摘要
申请公布号	DE69033045(T2)	申请公布日期	1999.11.18
申请号	DE1990633045T	申请日期	1990.11.19
申请人	KABUSHIKI KAISHA HITACHI SEISAKUSHO, TOKIO/TOKYO;NIHON VICTOR K.K., YOKOHAMA;TAKAHASHI, MIGAKU	发明人	TAKAHASHI, MIGAKU;YOKOYAMA, KATSUYA NIHON VICTOR KABUSHIKI-KAISHA;YAMADA, JUN K.K.HITACHI SEISAKUSHO KADEN KENKYUSHO;SHIBA, TAKASHI K.K. HITACHI SEISAKUSHO
分类号	C23C14/22;C23C16/44;G11B5/012;G11B5/31;G11B5/64;G11B5/84;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/30;H01L21/203;H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/02;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/22;C30B25/00;C30B11/00;C30B23/00	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
主权项
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