,申请号JP19970120516-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP2979472(B2)	申请公布日期	1999.11.15
申请号	JP19970120516	申请日期	1997.05.12
申请人	NIKON KK	发明人	SUZUKI KAZUAKI
分类号	G03F7/20;H01L21/027;H01S3/104;H01S3/134;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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