| 发明名称 |
LINEAR POLIERGERÄT UND WAFER PLANARISIERUNGSVERFAHREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT186001(T) |
申请公布日期 |
1999.11.15 |
| 申请号 |
AT19950305358T |
申请日期 |
1995.07.31 |
| 申请人 |
ONTRAK SYSTEMS, INC. |
发明人 |
HOMAYOUN, TALIEH;WELDON, DAVID EDWIN |
| 分类号 |
B24B21/00;B24B7/22;B24B21/04;B24B35/00;B24B37/04;B24B41/06;B24B53/007;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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