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发明名称 METHOD FOR FORMING METAL INTERCONNECTOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100231134(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19970024757 申请日期 1997.06.14
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 YOON, TAK-HYUN;YANG, WON-SUK
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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