发明名称 |
SEMICONDUCTOR APPARATUS MANUFACTURING METHOD FOR PREVENTING SHADOW EFFECT |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100230988(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.15 |
申请号 |
KR19960047146 |
申请日期 |
1996.10.21 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
KIM, SANG SOO |
分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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