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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号 KR100230806(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19960066629 申请日期 1996.12.17
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KIM, JAE YEONG
分类号 H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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