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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING AN ALIGNMENT PATTERN ON A SURFACE
摘要
申请公布号 KR100230532(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19970010302 申请日期 1997.03.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. 发明人 CHAUDHARI, PRAVEEN;LACEY, JAMES ANDREW;LIEN, SHUI-CHIN ALAN
分类号 C08G73/10;G02F1/1337;(IPC1-7):G02F1/133 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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