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发明名称 METHOD OF DISOLVING SILICA THIN FILM ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100230090(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19970000191 申请日期 1997.01.07
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K 发明人 YAMASHITA, TECHROU;MICHGASI, CHYOSHI;YABE, MANABU
分类号 B05C11/08;B05D3/10;B08B3/08;C11D7/50;C11D11/00;H01L21/00;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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