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发明名称
摘要
申请公布号 JP2979651(B2) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 JP19900417114 申请日期 1990.12.28
申请人 SONII KK 发明人 TSUMORI TOSHIRO
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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