发明名称 FINE PATTERN FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100231735(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19930019245 申请日期 1993.09.22
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, MYUNG SUN
分类号 G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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