| 发明名称 |
REDUCED-PRESSURE PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100230697(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.15 |
| 申请号 |
KR19930002260 |
申请日期 |
1993.02.18 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON YAMANASHI LIMITED |
发明人 |
SAIKI, KAZUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/48;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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