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发明名称 COATING APPARATUS BY USING CATHODIC ARC DISCHARGE
摘要
申请公布号 KR100230279(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19970011833 申请日期 1997.03.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, JONG KUK;NAM, SUNG HO;CHOI, BYUNG YONG
分类号 C23C14/34;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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