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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100231765(B1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19970036400 申请日期 1997.07.24
申请人 SHARP CORPORATION 发明人 TAKAMURA, YOIJI;KAWAMURA, AKIO;IGUCHI, KATSUJI
分类号 H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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