积体电路制程中冷却水传输管线之改良

摘要

一种改良积体电路之冷却水传输管线的装置。积体电路中的冷却水主要是使各系统内的反应能在最佳温度范围工作，但冷却水所产生的沉积物将使其失去冷却效果，本发明的特点除了加入酸剂和沉积物反应外，更加入一装置，使酸剂先在其中缓慢溶解后，再经由过滤器进入其工作系统；因此酸剂能以和沉积物充分作用，使冷却水能够长时间且高效能地工作。

主权项

[57]申请专利范围1.积体电路制程中冷却水传输管 线之改良,其装置包括一主管路一和一旁通管,主 管路的一端是冷却水的供应源,另一端是待冷却的 元件,旁通管包括一过滤器和一酸剂的贮存及溶解 装置,此酸剂的功用是和冷却水所产的沉积物作用 ,本装置的特微在于冷却水的供应源和过滤器之间 加入一酸剂贮存及溶解装置。2.如申请专利第1项 所述之积体电路制程中冷却水传输管线之改良,该 主管路有阀门控制冷却水的进入。3.如申请专利 第1项所述之积体电路制程中冷却水传输管线之改 良,该旁通管有阀门控制冷却水的进入。4.如申请 专利第1项所述之积体电路制程中冷却水传输管线 之改良,该酸剂为p H値介于3.5到6.5的酸。5.如申请 专利第4项所述之积体电路制程中冷却水传输管线 之改良,酸剂中以草酸-[(COOH)22H2O]具有最佳的表 现。6.如申请专利第1项所述之积体电路制程中冷 却水传输管线之改良,该酸剂贮存及溶解装置,系 包括一有盖容器,使其与旁通管的两端相连接,冷 却水流经此装置后再流经过滤器。图式简单说明: 第一图:为昔用制冷却水之装置的管线示意图。 第二图:为本发明之冷却水装置的管线示意图。