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发明名称 Halbleiter-Druckwandler mit Einkristall-Silizium-Membran und Einkristall-Dehnungsmessstreifen und Herstellungsverfahren dazu
摘要
申请公布号 DE69512544(D1) 申请公布日期 1999.11.11
申请号 DE1995612544 申请日期 1995.03.17
申请人 THE FOXBORO CO., FOXBORO 发明人 FUNG, CLIFFORD D.
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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