| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung dotierter Schichten oder chemischer Verbindungen oder Legierungen mittels einer Magnetronkathode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4107711(C2) |
申请公布日期 |
1999.11.11 |
| 申请号 |
DE19914107711 |
申请日期 |
1991.03.09 |
| 申请人 |
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG |
发明人 |
LATZ, RUDOLF |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C22C1/00;H01L21/203;C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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