DEVICE FOR MEASURING STRUCTURES ON A TRANSPARENT SUBSTRATE

摘要

Ein Messgerät zur Vermessung von Strukturen (9) auf einem transparenten Substrat (8), mit einer Auflicht-Beleuchtungseinrichtung (10, 13), einer Abbildungs-Einrichtung (10) und einer Detektor-Einrichtung (14) für die abgebildeten Strukturen (9) und einem senkrecht und relativ zur optischen Achse (11) der Abbildungs-Einrichtung (10) interferometrisch (7) messbar verschiebbaren Messtisch (4) zur Aufnahme des Substrats (8) zeichnet sich dadurch aus, dass der Messtisch (4) als offener Rahmen mit einem Aufnahmerand für das Substrat (8) ausgebildet ist und unter dem Messtisch (4) eine Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung (15, 16) vorgesehen ist, deren optische Achse mit der der Auflicht-Beleuchtungseinrichtung (10, 13) fluchtet.