| 发明名称 |
MODULATOR FOR PLASMA-IMMERSION ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0954875(A1) |
申请公布日期 |
1999.11.10 |
| 申请号 |
EP19980905260 |
申请日期 |
1998.01.17 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V. |
发明人 |
GUENZEL, REINHARD |
| 分类号 |
H05H1/24;C23C14/48;H01J37/32;H01L21/265;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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