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发明名称 MEMS VALVE
摘要
申请公布号 EP0954450(A1) 申请公布日期 1999.11.10
申请号 EP19980904706 申请日期 1998.01.23
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 TAI, YU-CHONG;XING, YANG;GROSJEAN, CHARLES
分类号 B81B3/00;F15C5/00;F16K99/00;(IPC1-7):B44C1/22;F16K31/12 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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