发明名称 辉光放电装置和产生辉光放电的方法
摘要 一种辉光放电的装置包括:一个细长的导电辉光条形电极;将电势加到辉光条形电极上从而产生离子的装置;产生从辉光条形电极流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管,安置得使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管有许多孔眼,离子即通过该孔眼在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼相应的闸板可起码部分地挡住离子流通过各孔眼,各闸板能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼的离子流。
申请公布号 CN1046318C 申请公布日期 1999.11.10
申请号 CN93116412.5 申请日期 1993.09.04
申请人 施乐公司 发明人 小·J·J·沃茨尼阿克;J·A·阿波隆尼;L·A·雷里亚;L·J·波特;F·L·库恩;E·R·库恩;B·A·李斯
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 马铁良;肖掬昌
主权项 1.一种用以进行辉光放电的装置(1),包括:一个细长的导电辉光条形电极(3);用来将电势加到辉光条形电极(3)上从而产生离子的装置;用来产生从辉光条形电极(3)流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管(5),安置得到使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管(5)有许多孔眼(6),离子即通过该孔眼(6)在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼(6)具有至少一个相应的闸板(53),该闸板(53)能起码部分地挡住离子流通过各孔眼(6),各闸板(53)能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼(6)的离子流。
地址 美国纽约